GB/T 28159-2025 电子级磷酸

京都电子KEM产U形振动管法数字密度计 DA-840、自动电位滴定仪 AT-710S 测定电子级磷酸 - 磷酸质量分数

范围
本文件规定了电子级磷酸的要求、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、安全等，并描述了相应的试验方法。
本文件适用于半导体集成电路、芯片、显示面板等行业用的电子级磷酸。

术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。

要求
外观
电子级磷酸应为无色透明液体。
规格
电子级磷酸分为E1级、E2级、E3级共3个等级，其中E1级主要用于显示面板行业、E2级主要用于8寸集成电路行业、E3级主要用于12寸集成电路行业。
技术要求
电子级磷酸的技术要求应符合表1的规定。




试验方法
磷酸质量分数的测定
重量法(仲裁法)
按 GB 1886.15-2015 中A.4.1规定的方法进行。

容量法
原理
以百里香酚酞为指示液，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定磷酸，以确定磷酸含量。
试剂
氢氧化钠标准滴定溶液：c(NaOH)=0.5mol/L。
百里香酚酞指示液：1g/L。
分析步骤
称取约1g试样，精确至0.0002g。置于250mL锥形瓶中，加80mL水和5滴百里香酚酞指示液，用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至溶液变为浅蓝色即为终点。
试验数据的处理
磷酸(H₃PO₄) 的质量分数ω₁按公式(1)计算：

式中：
ω₁——磷酸(H₃PO₄)的质量分数，％；
c ——氢氧化钠标准滴定溶液的浓度，单位为摩尔每升(mol/L)；
V ——消耗的氢氧化钠标准滴定溶液的体积，单位为毫升(mL)；
m ——试样的质量，单位为克(g)；
M ——磷酸的摩尔质量的1/2，单位为克每摩尔(g/mol)，[M(1/2 H₃PO₄)=49.00]。
取平行测定结果的算术平均值为测定结果，两次平行测定结果的绝对差值不大于0.2%。
其他说明
根据企业测量设备的配置情况，可使用自动电位滴定仪替代手动滴定进行磷酸含量检测。

【实验仪器制备，推荐使用】 谷氨酸钠的检验

产品介绍链接：

京都电子KEM 自动电位滴定仪 AT-710S

京都电子KEM 自动电位滴定仪AT-710 操作动画演示：

密度仪法
原理
本方法运用U形管振荡法测量液体密度的原理，主要是使用带有参比测量池的U形管测量系统，在经过大气压和湿度修正后仪器内置的空气、水标准曲线，通过输出高精度密度值找到其对应的磷酸浓度并在密度仪中显示。
仪器、试剂
密度仪法所用仪器如下。

【实验仪器制备，推荐使用】

京都电子KEM U型振动管法数字式密度计 DA-840

台式密度仪操作视频：

a) 密度仪：内置样品温度调节模块。仪器应满足以下要求。
——密度准确度：0.00001g/cm³。
——密度测量重复性：0.000005g/cm³。
——温度测量准确度：0.01°C。
——大气压测量分辨率：0.1hPa，精度±1.5%，湿度测量分辨率：1％。
——测量样品粘度并自动进行密度结果的粘度补偿。
——具有测量池气泡自动检查功能。
b) 无水乙醇(作为仪器的清洗剂)。
c) 纯水(作为仪器的清洗剂和仪器查核液)：符合 GB/  11446.1 规定的EW-Ⅰ级电子级水。
分析步骤
仪器查核
仪器查核应每天进行一次， 查核步骤如下：将进样管放入查核液(纯水)中，点击开始按钮，仪器自动吸样、测量(注意U形管内不能有任何气泡)，测量完成后显示查核液的温度、密度等信息。
将纯水测量的密度结果与该温度下查核液的标准值(见表2)比较，如果偏差在±0.00005g/cm³以内，则检查通过，可进行样品测试。

样品测试
取待测样品至少50mL于100mL烧杯中，将进样管放入待测样品液面以下至少1cm处，点击开始，仪器自动吸样、测量(注意U形管内不能有任何气泡)，测试完成后显示待测试样的温度、密度、浓度等信息。测试完成后用纯水进行清洗，再用无水乙醇进行清洗，清洗完成后进行干燥。
样品的浓度直接读取仪器显示值。