T/FJAS 002-2024 湿电子化学品 再生光阻洗净液

【范围】
本文件规定了再生光阻洗净液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
本文件适用于以湿电子化学品行业含光阻洗净液回收液为原料，经过提纯的光阻洗净液再生产品(以下简称产品)，主要用于显示面板制造行业等。

【术语和定义】
下列术语和定义适用于本文件。
湿电子化学品  wet chemicals
湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺(主要包括湿法刻蚀、清洗、显影、剥离等环节)中使用的各种液体化工材料。
光阻洗净液  Light blocking cleaning solution
光阻去除液、清剂，主要成分丙二醇甲醚(PM)和丙二醇甲醚醋酸酯(PMA)。
回收液  Iiquid recycIing
主要含主要丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯，以及少量其它有机溶剂、光刻胶、水、金属离子等。

【技术要求】
产品的技术指标应符合表1的要求。


【试验方法】
水分的测定
按 GB/T 6283 的规定进行测定。
GB/T 6283-2008 化工产品中水分含量的测定 卡尔·费休法(通用方法)

【实验仪器制备，推荐使用】水分的测定

京都电子KEM 容量法卡尔·费休水分测定仪 MKV-710S

京都电子KEM 容量法卡尔费休水分仪 MKV-710S 操作动画演示：