T/CEMIA 032-2022 显示面板用氧化层缓冲刻蚀液

●范围
本标准规定了显示面板用缓冲氧化物刻蚀液的术语和定义、缩略语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存和安全。
本标准适用于由氢氟酸水溶液、氟化铵水溶液和表面活性剂混配而成的缓冲氧化物刻蚀液，应用于显示面板制造中氧化物层的刻蚀和清洗过程。

●术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。

●缩略语
下列缩略语适用于本文件。
BOE刻蚀液：缓冲氧化物刻蚀液。
PFA：四氟乙烯—全氟烷氧基乙烯基醚共聚物，又称过氟烷基化物，可溶性聚四氟乙烯。

●分类
显示面板用BOE刻蚀液根据显示面板客户使用要求分为Ⅰ级和Ⅱ级。

●要求
外观
无色透明液体。
主要化学成分
显示面板用BOE刻蚀液的主要化学成分应符合表1的规定。


●表面张力
显示面板用BOE刻蚀液的表面张力指标管控可由供应商与客户协商决定。
颗粒数
显示面板用BOE刻蚀液的颗粒数应符合表2的规定。


●非金属杂质含量
显示面板用BOE刻蚀液的非金属杂质含量应符合表3的规定。


●金属杂质含量
显示面板用BOE刻蚀液的金属杂质含量应符合表4的规定。


●检验方法
氢氟酸和氟化铵含量
按 SJ/T 11507-2015 中5.2"氟化铵和氢氟酸含量的测定"的规定进行。

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SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

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