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GB/T 46697-2025 电子级八甲基环四硅氧烷 - 水分含量的测定(KEM库伦水分测定仪)
来源: | 来源:KEM China | 发布时间 :2026-06-16 | 638 次浏览: | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:
本文件规定了半导体行业用电子级八甲基环四硅氧烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求，描述了对应的检测方法。本文件适用于沉积氧化硅、碳氧掺杂硅、碳化硅等硅基膜的电子级八甲基环四硅氧烷，以其优异的绝缘性和耐高温性在半导体领域用作封装隔离层、集成电路绝缘层和介电层等。



技术要求
电子级八甲基环四硅氧烷应符合表1的规定。|
表1.jpg

表1续.jpg

检测方法
水分含量的测定
所用微量水分测定仪应符合 GB/T 26793 规定，测定方法应按 GB/T 6324.8 中的规定执行。
可采用其他等效的方法测定八甲基环四硅氧烷中水含量。当测定结果有异议时，以 GB/T 6324.8 规定的方法为仲裁方法。
GB/T 26793-2011 库仑法微量水分测定仪
GB/T 6324.8-2014 有机化工产品试验方法 第8部分: 液体产品水分测定 卡尔·费休库仑电量法


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操作视频：