GB/T 46699-2025 电子级四甲基硅烷 - 水分含量的测定（库伦微量水分仪）

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来源: | 来源:KEM China | 发布时间 :2026-06-23 | 41 次浏览: | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:

本文件规定了半导体行业用电子级四甲基硅烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运输、贮存及安全警告的要求，描述了相应的检测方法。本文件适用于沉积氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的电子级四甲基硅烷，作为集成电路的刻蚀硬掩层、介电层等功能层；也适用于高纯电子清洗剂和标准试剂的电子级四甲基硅烷。

技术要求
电子级四甲基硅烷应符合表1的规定。
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表1续.jpg

水分含量的测定
所用微量水分测定仪应符合 GB/T 26793 规定，测定方法应按 GB/T 6324.8 的规定执行。
可采用其他等效的方法测定四甲基硅烷中水含量。当测定结果有异议时，以 GB/T 6324.8 规定的方法为仲裁方法。
GB/T 26793-2011 库仑法微量水分测定仪