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T/ICMtia 5.2-2020 集成电路用ArF浸没式光刻胶 - 水分的测试方法 卡尔·费休容量法&库仑法
来源: | 来源:KEM China | 发布时间 :2026-06-30 | 30 次浏览: | 🔊 点击朗读正文 ❚❚ ▶ | 分享到:
本文件规定了ArF浸没式光刻胶的要求、试验方法、检测标准及包装、运输、存储。本文件适用于集成电路用ArF浸没式光刻胶。




技术要求
性状
无色至淡微黄色透明液体。
表1.jpg

试验方法
水分
卡尔·费休库仑法
按 GB/T 6324.8 的规定测定。

GB/T 6324.8-2014 有机化工产品试验方法 第8部分: 液体产品水分测定 卡尔·费休库仑电量法


卡尔·费休容量法

按 GB/T 606 的规定测定。

GB/T 606-2003 化学试剂 水分测定通用方法 卡尔·费休法


测试方法的选择
当样品中含水量较高时，推荐使用卡尔·费休容量法；含水量较小时(1000ppm以下)，使用卡尔·费休库仑法能得到更准确的结果。

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